[发明专利]基于平面光栅分光的线型显微干涉光谱测量系统与方法有效
| 申请号： | 201910649339.7 | 申请日： | 2019-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN110332904B | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 郭彤;翁倩文;赵冠华;傅星;胡小唐 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 韩帅 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于平面光栅分光的线型显微干涉光谱测量系统，包括光源单元、干涉单元、光路分光单元、监控单元、光谱成像单元和数据处理单元，该系统截取了透过狭缝的干涉光，在经过光栅后被分解成单色光，对成像于高速相机上的光谱图像进行分析处理，本发明可快速获取样品轮廓信息，实现高精度表面形貌测量。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 平面 光栅 分光 线型 显微 干涉 光谱 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于平面光栅分光的线型显微干涉光谱测量系统，包括光源单元、干涉单元、光路分光单元、监控单元、光谱成像单元和数据处理单元，其特征在于：所述光源单元进行光源输入；所述干涉单元为Michelson干涉结构，通过改变测量端和参考端之间的光程差，产生携带样品表面信息的干涉光；所述光路分光单元将干涉光分成两路，一路输入监控单元，另一路输入光谱成像单元；所述监控单元实现对样品的实时观察；所述光谱成像单元是对经过狭缝后的长条形的干涉光进行波长分解，形成光谱图像，成像于高速相机上；所述数据处理单元是对光谱成像单元的光谱图像进行分析处理，从而获得样品的轮廓信息。
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