[发明专利]非晶碳膜的膜厚监测方法有效
| 申请号： | 201910643601.7 | 申请日： | 2019-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN110243331B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 王莎莎;张富伟;袁智琦;陈东华 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 郭四华 |
| 地址： | 201315 上海市浦东新区中国（上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种非晶碳膜的膜厚监测方法，包括如下步骤：步骤一、采用乙炔作为碳源气体进行非晶碳膜生长，乙炔存储在乙炔钢瓶中且乙炔钢瓶中采用丙酮作为乙炔的溶剂。步骤二、通过实时监测所述乙炔钢瓶中的所述乙炔用量来在线监测所述非晶碳膜的厚度。本发明能快速预测非晶碳膜的厚度，节约晶圆、时间和人力成本。 | ||
| 搜索关键词： | 非晶碳膜 监测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种非晶碳膜的膜厚监测方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一、采用乙炔作为碳源气体进行非晶碳膜生长，所述乙炔存储在乙炔钢瓶中且所述乙炔钢瓶中采用丙酮作为所述乙炔的溶剂；步骤二、通过实时监测所述乙炔钢瓶中的所述乙炔用量来在线监测所述非晶碳膜的厚度。
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