[发明专利]角度分辨显微拉曼光谱探测装置及探测方法在审
申请号: | 201910638179.6 | 申请日: | 2019-07-15 |
公开(公告)号: | CN110231092A | 公开(公告)日: | 2019-09-13 |
发明(设计)人: | 仇巍;常颖;亢一澜;曲传咏;张茜;孟田 | 申请(专利权)人: | 天津大学 |
主分类号: | G01J3/44 | 分类号: | G01J3/44;G01J3/28;G01J3/447;G01J3/02;G01J3/12;G01N21/65;G01N21/47 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 周宇 |
地址: | 300000*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明提供一种角度分辨显微拉曼光谱探测装置及探测方法,涉及光学测量设备技术领域,角度分辨显微拉曼光谱探测装置包括:拉曼探测机构和倾角控制机构;拉曼探测机构设置有信号出入口,信号出入口与样品相对应,拉曼探测机构能够向样品表面发射激光信号、采集样品表面被激发出的散射信号、并进行拉曼光谱分析;拉曼探测机构与倾角控制机构连接,倾角控制机构用于调节拉曼探测机构与倾角控制机构的连接角度,以调节角度分辨显微拉曼光谱探测装置的探测倾角的角度。通过采集样品表面同一测点不同探测倾角时的散射信号,以获得同一测点不同探测倾角下的光谱数据,以实现对样品的精细化测量。 | ||
搜索关键词: | 探测机构 倾角控制机构 角度分辨 拉曼光谱 探测装置 探测 显微 样品表面 散射信号 信号出入 测点 采集 发射激光信号 光学测量设备 拉曼光谱分析 光谱数据 精细化 测量 激发 | ||
【主权项】:
1.一种角度分辨显微拉曼光谱探测装置,其特征在于,包括:拉曼探测机构和倾角控制机构;所述拉曼探测机构设置有信号出入口,所述信号出入口与样品相对应,所述拉曼探测机构用于向样品表面发射激光信号、采集样品表面被激发出的散射信号、并进行拉曼光谱分析;所述拉曼探测机构与所述倾角控制机构连接,所述倾角控制机构用于调节所述拉曼探测机构与所述倾角控制机构的连接角度,以调节所述角度分辨显微拉曼光谱探测装置的探测倾角的角度,所述探测倾角为入射激发光的光轴与样品法向之间的夹角。
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