[发明专利]工艺数据管理方法及设备在审
| 申请号： | 201910635236.5 | 申请日： | 2019-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN110321323A | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 相会凤 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G06F16/11 | 分类号： | G06F16/11;G06F16/172;G06F16/14;G06Q10/10;G06Q50/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种工艺数据管理方法及设备，所述方法包括：接收工艺数据采集设备上报的发生了变化的工艺标识信息，其中，所述工艺标识信息为可表征各个工艺步骤的工艺内容的信息；根据所述发生了变化的工艺标识信息在所述工艺数据采集设备采集的所有工艺数据中查找与所述发生了变化的工艺标识信息对应的目标工艺数据，并对所述目标工艺数据进行解析处理，得到解析数据；将所述解析数据按照预设格式存储在本地文件中。采用本发明，降低了工艺数据管理设备中应用程序的运行压力，实现了工艺数据自动导出的功能，降低了用户查询使用时，进行筛选、查询操作的复杂度，节省了大量的在线查询、解析等待时间。 | ||
| 搜索关键词： | 工艺标识 工艺数据 工艺数据管理 采集设备 解析数据 目标工艺 查询操作 工艺步骤 工艺内容 解析处理 信息对应 应用程序 用户查询 预设格式 运行压力 在线查询 复杂度 导出 解析 存储 采集 筛选 查找 上报 | ||
【主权项】：
1.一种工艺数据管理方法，其特征在于，所述方法包括：接收工艺数据采集设备上报的发生了变化的工艺标识信息，其中，所述工艺标识信息为可表征各个工艺步骤的工艺内容的信息；根据所述发生了变化的工艺标识信息在所述工艺数据采集设备采集的所有工艺数据中查找与所述发生了变化的工艺标识信息对应的目标工艺数据，并对所述目标工艺数据进行解析处理，得到解析数据；将所述解析数据按照预设格式存储在本地文件中。
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