[发明专利]光声传感器、光声探测系统、方法、装置及存储介质有效
| 申请号： | 201910629331.4 | 申请日： | 2019-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN112212897B | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 马骋;陈誉文;陈博华 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01D5/353 | 分类号： | G01D5/353;G01B11/30;G01B7/34;G01D5/54;G01D5/62 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 郑红娟;宋志强 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种光声传感器、光声探测系统、方法、装置及存储介质，涉及光声探测技术。具体方案包括：一种光声传感器，包括：衬底、制备在衬底上的谐振腔层；谐振腔层包括第一腔体层、第二腔体层、以及位于第一腔体层和第二腔体层之间的填充层；第一腔体层位于填充层与衬底之间，第二腔体层位于填充层远离衬底一侧；填充层填充了填充介质，填充介质通过热胀冷缩作用改变填充层的厚度。本申请克服了光声传感器的工作点极易受到外界因素的干扰和平整度不足的缺陷，可以进行光声传感器工作点的调谐和对光声传感器表面的调平，在保证光声传感器工作在工作灵敏度最高的工作点的同时，满足高细度的光声传感器对光声传感器表面的平整度要求。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 探测 系统 方法 装置 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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