[发明专利]一种振动辅助的纳米辊压装置在审
| 申请号： | 201910617379.3 | 申请日： | 2019-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN112213916A | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 谷岩;林洁琼;康洺硕;张昭杰;陈斯;易正发;徐贞潘;李先耀;颜家瑄;徐宏宇;冯开拓;戴得恩;刘骜;卢发祥;段星鑫 | 申请（专利权）人： | 长春工业大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种振动辅助的纳米辊压装置,首先，将机架水平放置于实验台上，然后调节X‑Y轴位移平台使Z向振动装置位于压印辊的正下方，再将已涂胶衬底固定于衬底卡盘中心，调节微调装置使压印辊水平，然后控制Z轴位移平台下移使压印辊与压印胶微接触，启动加热装置对衬底进行加热，加热完毕后开始压印，压印同时Z向振动装置开始振动，然后冷却脱模，最后控制Z轴位移平台上升，压印结束。本发明中采用Z向振动装置，使模板与压印胶之间产生间隙接触，减少两者之间的粘附力，通过多次间隙接触进行摩擦产热，使得压印胶融化流动，提高压印胶的填充度，再通过微调装置调节压印辊水平，冷却装置进行降温，进一步提高微纳结构的精度与保真度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 振动 辅助 纳米 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长春工业大学，未经长春工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910617379.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种可制备超疏水微结构的纳米压印装置及方法
- 下一篇：一种用于果蔬仓储的冷库
