[发明专利]一种在金属锌上沉积氧化锌薄膜的方法

摘要

本发明公开了一种在金属锌上沉积氧化锌薄膜的方法；该方法包括：化学浴沉积前驱液配制；氧化锌薄膜沉积；反应温度控制。该方法采用锌盐和六亚甲基四胺的混合溶液为化学浴沉积前驱液，在常压、恒温水浴条件下利用锌离子的水解反应在锌上沉积氧化锌薄膜，通过调节化学浴温度控制水解反应的速率，从而调控氧化锌的形貌。与现有技术相比，本发明具备步骤简单，成本较低，可调控氧化锌薄膜的形貌等优势。

主权项

1.一种在金属锌上沉积氧化锌薄膜的方法，其特征在于，所述方法包括：A1、化学浴沉积前驱液配制：将锌盐和六亚甲基四胺溶解于去离子水中，配制成化学浴沉积前驱液；A2、氧化锌薄膜沉积：将所述化学浴沉积前驱液在常压下水浴加热至预设温度并保持恒温后，将金属锌置入进行化学浴沉积1.5～2.5小时。