[发明专利]具有改进的成像分辨率的电子显微镜在审
| 申请号： | 201910610201.6 | 申请日： | 2019-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN110690093A | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | A.汉斯特拉;P.唐娜 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/10 | 分类号： | H01J37/10;H01J37/147;H01J37/153;H01J37/20;H01J37/22;H01J37/244;H01J37/26 |
| 代理公司： | 72001 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 李婷;陈浩然 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种电子显微镜，其包括：‑样本固持器，所述样本固持器用于固持样本；‑源，所述源用于产生电子射束；‑照明系统，所述照明系统用于引导所述射束以照射所述样本；‑细长射束导管，所述射束被引导通过所述细长射束导管；‑检测器，所述检测器用于检测响应于所述照射从所述样本发出的辐射，其中所述射束导管的至少纵向部分具有复合结构，所述复合结构包括：‑由电绝缘材料构成的外管；‑由导电材料构成的内表层。在替代性但相关的结构中，所述射束导管的至少纵向部分包含包括混合电绝缘材料和导电材料的聚集复合材料。 | ||
| 搜索关键词： | 射束 样本 导管 检测器 导电材料 复合结构 照明系统 固持器 照射 电绝缘材料 电子显微镜 电子射束 绝缘材料 复合材料 混合电 内表层 替代性 固持 外管 辐射 响应 检测 | ||
【主权项】：
1.一种电子显微镜，其包括：/n样本固持器，所述样本固持器用于固持样本；/n源，所述源用于产生电子射束；/n照明系统，所述照明系统用于引导所述射束以照射所述样本；/n细长射束导管，所述射束被引导通过所述细长射束导管；/n多极透镜组合件，所述多极透镜组合件被配置为像差校正器；/n检测器，所述检测器用于检测响应于所述照射从所述样本发出的辐射，/n其特征在于，所述射束导管的至少纵向部分至少延伸通过所述像差校正器，并且具有复合结构，所述复合结构包括：/n由电绝缘材料构成的外管；/n由导电材料构成的内表层，所述导电材料的内表层具有导电率σ和厚度t，其中σt<0.1Ω
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