[发明专利]一种可承载硅片的硅片花篮

摘要

本发明公开了一种可承载硅片的硅片花篮，包括侧围和底架，侧围由一对左右设置的侧架和一对前后设置的端板围成；该对侧架之间还设有分隔杆，分隔杆与该对端板垂直，该对端板分别设有用于引导分隔杆端部滑动的导向槽，分隔杆的两端与该对端板上的导向槽分别可拆卸连接。分隔杆可拆卸；当分隔杆拆下，硅片花篮可插放一排竖置硅片；当分隔杆装上，可分隔硅片花篮的内部空间，进而可插放两排竖置硅片，该两排硅片可上下设置或者左右设置。为了便于调整分隔杆在硅片花篮内部空间中的安装位置，在一对端板上设置导向槽，分隔杆的两端可沿导向槽滑动，可沿左右方向和/或竖向调整分隔杆的安装位置，以适应不同尺寸的硅片。

主权项

1.一种可承载硅片的硅片花篮，其内部空间用于插放竖置硅片，包括主架体，主架体包括侧围和底架，侧围由一对左右设置的侧架和一对前后设置的端板围成，该对端板竖置且相互平行，该对侧架分别设有可供硅片侧边插放的竖向插槽，且该对侧架相互配合；其特征在于：上述一对侧架之间还设有分隔杆，分隔杆与上述一对端板垂直，该对端板分别设有用于引导分隔杆端部滑动的导向槽，该对端板上的导向槽对称设置，分隔杆的两端与该对端板上的导向槽分别可拆卸连接。