[发明专利]超声波指纹识别装置及其加工方法、电子设备

摘要

本申请涉及一种超声波指纹识别装置及其加工方法、电子设备，布拉格反射层不受衬底的限制，利用反射层作为声阻抗结构将声波能量保留在谐振区域，不散失于衬底；布拉格反射层基于压电薄膜体声波谐振，相对于表面声波谐振具有较小的插入损耗、更小的元件尺寸、更强的功率承受能力和易于集成的特点。因此，采用结构简单的布拉格反射层作为超声波指纹识别装置的谐振层，不受衬底材料的限制，使得超声波指纹识别装置在进行加工时具有较高的成品率。

主权项

1.一种超声波指纹识别装置，其特征在于，包括：信号发生器、第一信号处理器、第二信号处理器、第一接触电极、第二接触电极、钝化层、布拉格反射层、底电极层、压电层和顶电极层，所述第一信号处理器和所述第二信号处理器分别设置于所述信号发生器的同一表面；所述钝化层覆盖设置于所述信号发生器设置有所述第一信号处理器和所述第二信号处理器的表面；所述钝化层、所述布拉格反射层、所述底电极层、所述压电层和所述顶电极层依次设置，所述底电极层覆盖设置于所述布拉格反射层与所述信号发生器设置有所述第一信号处理器对应的部分，所述顶电极层覆盖设置于所述压电层与所述信号发生器设置有所述第二信号处理器对应的部分；所述压电层、所述底电极层、所述布拉格反射层和所述钝化层中与所述第一信号处理器相对应的部位均设置有第一连接孔，使得所述第一接触电极通过所述第一连接孔将所述底电极层和所述第一信号处理器相连；所述顶电极层、所述压电层、所述布拉格反射层和所述钝化层中与所述第二信号处理器相对应的部位均设置有第二连接孔，使得所述第二接触电极通过所述第二连接孔将所述顶电极层和所述第二信号处理器相连。