[发明专利]四元阵列压电式振动传感器在审
| 申请号： | 201910577966.4 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN110388983A | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 刘林仙;冯江涛 | 申请（专利权）人： | 山西大学 |
| 主分类号： | G01H11/08 | 分类号： | G01H11/08 |
| 代理公司： | 太原智慧管家知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14114 | 代理人： | 张洋 |
| 地址： | 030006 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了四元阵列压电式振动传感器，包括四个对称设置的敏感单元，敏感单元包括长方体立柱、十字形复合梁、敏感转换垫以及正方形硅衬底，十字形复合梁包括四根悬臂梁，所述长方体立柱垂直设置于悬臂梁的中心交叉处，四根悬臂梁的末端均设有支腿，支腿下端均设置有敏感转换垫，敏感转换垫设置在正方形硅衬底上，正方形硅衬底底面与四个敏感转换垫相对应的位置刻蚀有结构尺寸完全相同的圆形凹槽，正方形硅衬底顶面与各圆形凹槽相对应的部分形成圆形薄膜层；四个敏感单元的唯一不同在于长方体立柱的长度不同。本发明可通过具有不同长度长方体立柱的四个对称设置的敏感单元，检测同一物理过程中不同大小和频率的振动信号，拓宽了其工程应用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 长方体立柱 敏感单元 硅衬底 悬臂梁 压电式振动传感器 敏感 转换 对称设置 圆形凹槽 复合梁 十字形 支腿 垂直设置 工程应用 物理过程 圆形薄膜 振动信号 中心交叉 底面 顶面 刻蚀 下端 检测 | ||
【主权项】：
1.四元阵列压电式振动传感器，包括四个对称设置的敏感单元，其特征在于：所述敏感单元包括长方体立柱、十字形复合梁、敏感转换垫以及正方形硅衬底，所述十字形复合梁包括四根结构完全相同的悬臂梁，所述长方体立柱垂直设置于悬臂梁的中心交叉处，四根悬臂梁的末端均设有支腿，四个支腿下端均设置有敏感转换垫，所述敏感转换垫包括下电极层、上电极层以及设置在下电极层与上电极层之间的压电薄膜层，所述敏感转换垫设置在正方形硅衬底上，所述正方形硅衬底底面与四个敏感转换垫相对应的位置分别刻蚀有结构尺寸完全相同的圆形凹槽，所述正方形硅衬底顶面与各圆形凹槽相对应的部分形成圆形薄膜层；四个敏感单元的唯一不同在于：所述长方体立柱的长度不同，各个敏感单元设置的长方体立柱分别为第一长方体立柱、第二长方体立柱、第三长方体立柱和第四长方体立柱，四根长方体立柱同侧设置。
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