[发明专利]一种利用气缸移动的机构及晶圆传输系统

摘要

本发明提供一种利用气缸移动的机构及晶圆传输系统，包括无杆气缸和安装在所述无杆气缸的两端用以固定所述无杆气缸的固定调节架A和固定调节架B，所述无杆气缸的表面滑动连接有工型结构的辅助铝板，所述辅助铝板上安装有晶圆盒，且所述辅助铝板的底面安装有用以检测距离的定位传感器；在辅助铝板上安装有晶圆盒，当辅助铝板在无杆气缸上滑动时，进而驱使晶圆盒移动，在无杆气缸上设有两个压力缓冲器，当辅助铝板在无杆气缸上滑动时，压力缓冲器可以缓冲辅助铝板前进和后退产生的冲击力，而且在晶圆盒的底面设有定位传感器，该定位传感器可以定位固定调节架B上压力缓冲器的距离。

主权项

1.一种利用气缸移动的机构，其特征在于，包括无杆气缸(30)和安装在所述无杆气缸(30)的两端用以固定所述无杆气缸(30)的固定调节架A(10)和固定调节架B(50)；所述无杆气缸(30)的表面滑动连接有工型结构的辅助铝板(40)，晶圆盒(70)可设置于所述辅助铝板(40)上，且所述辅助铝板(40)的底面安装有用以检测距离的定位传感器(60)。