[发明专利]压力检测单元和使用该压力检测单元的压力传感器在审
申请号: | 201910569900.0 | 申请日: | 2019-06-27 |
公开(公告)号: | CN110672260A | 公开(公告)日: | 2020-01-10 |
发明(设计)人: | 向井元桐;青山伦久;高月修 | 申请(专利权)人: | 株式会社不二工机 |
主分类号: | G01L19/14 | 分类号: | G01L19/14 |
代理公司: | 31300 上海华诚知识产权代理有限公司 | 代理人: | 徐颖聪 |
地址: | 日本国东京都世*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种能够实现输出值的稳定化和小型化并且降低成本的压力检测单元和压力传感器。压力检测单元具有:膜片(50),该膜片(50)承受流体的压力;基座(40),在该基座(40)与所述膜片(50)之间形成封入有介质的受压空间(S1);压力检测装置(60),该压力检测装置(60)在所述受压空间(S1)内配置于所述基座(40),并且对传递到所述介质的压力进行检测并转换为电压力信号;以及多个端子销(70~74),该多个端子销(70~74)用于在所述压力检测装置(60)与外部的电路之间进行电连接,在所述膜片(50)和所述基座(40)的面向所述受压空间(S1)的部位形成绝缘层。 | ||
搜索关键词: | 膜片 压力检测装置 受压 压力检测单元 端子销 绝缘层 电压力信号 压力传感器 电连接 稳定化 流体 电路 输出 传递 转换 检测 外部 配置 | ||
【主权项】:
1.一种压力检测单元,其特征在于,具有:/n膜片,该膜片承受流体的压力;/n基座,在该基座与所述膜片之间形成封入有介质的受压空间;/n压力检测装置,该压力检测装置在所述受压空间内配置于所述基座,并且对所述受压空间内的压力进行检测并转换为电信号;以及/n多个端子销,该多个端子销用于在所述压力检测装置与外部的电路之间进行电连接,/n在所述膜片和所述基座的面向所述受压空间的部位形成绝缘层。/n
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