[发明专利]一种新型晶体生长装置及其生长方法在审
| 申请号： | 201910567048.3 | 申请日： | 2019-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN110318095A | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 罗平;徐军;王东海;李东振;吴锋;王庆国;唐慧丽;徐晓东 | 申请（专利权）人： | 南京同溧晶体材料研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/30 | 分类号： | C30B15/30;C30B15/34 |
| 代理公司： | 南京中律知识产权代理事务所(普通合伙) 32341 | 代理人： | 沈振涛 |
| 地址： | 210000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种晶体生长装置及生长方法，利用坩埚相对模具的动作，引起熔体的对流，克服原料熔体中气泡不易逸出的问题，并通过旋转加强熔体对流使得掺杂元素分布更加均匀，对坩埚内部的轴向及径向温度梯度进行了调和，可使得晶体外形更加均匀。本发明有效的解决了熔体中气泡不易逸出及掺杂元素分布不均匀的问题，缓解了坩埚内部温度梯度过大所导致的影响，使得长晶工艺更加灵活丰富以应对不同种类的晶体材料需要。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 掺杂元素 熔体 逸出 晶体生长装置 径向温度梯度 晶体材料 晶体外形 熔体对流 生长装置 新型晶体 原料熔体 生长 不均匀 轴向 调和 模具 对流 缓解 灵活 | ||
【主权项】：
1.一种新型晶体生长装置，其特征在于：包括模具(1)、坩埚(3)、托盘(4)、支柱(5)、电机；所述模具(1)悬挂在坩埚(3)上方，且模具(1)外径小于坩埚(3)内径；所述坩埚(3)底部通过托盘(4)与支柱(5)固定连接，支柱(5)与电机的传动轴固定连接，其中电机包括升降电机、旋转电机，固定安装在设备炉腔外侧。
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