[发明专利]高通量薄膜制备并原位微结构表征的装置及方法在审
| 申请号： | 201910564205.5 | 申请日： | 2019-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN110346390A | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 苗君;姜勇;王守国;刘瑞雯 | 申请（专利权）人： | 北京科技大学 |
| 主分类号： | G01N23/2005 | 分类号： | G01N23/2005;G01N23/20058;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京市广友专利事务所有限责任公司 11237 | 代理人： | 张仲波 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种高通量薄膜制备并原位微结构表征的装置及方法，属于薄膜材料高通量制备、微纳加工及微结构表征技术领域。该装置包括基体、激光器、激光加热器、镀膜设备、夹持样品杆、红外测温仪、减薄设备、微结构表征腔、微结构测试样品杆、插板，其中，基体置于镀膜设备的夹持样品杆上，激光器、激光加热器和红外测温仪分别安装在镀膜设备上，镀膜设备、减薄设备、微结构测量部件依次顺序通过插板连接。本发明通过夹持样品杆和微结构测试样品杆完成原位传输及腔体内功能的实现，能最大程度避免外界环境条件对薄膜性能的影响，发挥高通量薄膜技术的优势，精准获得高通量组分和厚度薄膜的结构与物理性质的变化规律。 | ||
| 搜索关键词： | 高通量 微结构 样品杆 镀膜设备 夹持 红外测温仪 激光加热器 微结构测试 薄膜制备 减薄设备 激光器 外界环境条件 薄膜材料 薄膜技术 变化规律 表征技术 测量部件 插板连接 厚度薄膜 体内功能 微纳加工 物理性质 插板 制备 薄膜 传输 | ||
【主权项】：
1.一种高通量薄膜制备并原位微结构表征的装置，其特征在于：包括基体(1)、激光器(2)、激光加热器(3)、镀膜设备(4)、夹持样品杆(5)、红外测温仪(6)、减薄设备(7)、微结构表征腔(8)、微结构测试样品杆(9)和插板，其中，基体(1)置于镀膜设备(4)的夹持样品杆(5)上，激光器(2)、激光加热器(3)和红外测温仪(6)分别安装在镀膜设备(4)上，镀膜设备(4)、减薄设备(7)、微结构表征腔(8)依次顺序通过插板连接，微结构表征腔(8)中安装有微结构测试样品杆(9)。
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