[发明专利]稳流装置及拉晶炉有效
| 申请号： | 201910561753.2 | 申请日： | 2019-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN110158154B | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 潘浩;全铉国 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B30/04 | 分类号： | C30B30/04;C30B29/06;C30B27/02 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;胡影 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种稳流装置及拉晶炉，其中，稳流装置应用于拉晶炉，包括：第一稳流罩，所述第一稳流罩上设有多个第一通孔，所述第一稳流罩用于安装在所述拉晶炉的副炉室内，以调节通入所述拉晶炉内的惰性气体的流向；第二稳流罩，所述第二稳流罩上设有多个第二通孔，所述第二稳流罩用于安装在所述拉晶炉的副炉室，并与所述第一稳流罩相对设置，用于调整经过所述第一稳流罩调整后的所述惰性气体的流向。根据本发明的稳流装置，可以约束惰性气体流动方向，降低单晶硅棒的摆动幅度，减少单晶生长位错现象发生的几率，避免不纯物对晶棒和热场部件侧壁造成污染和侵蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 拉晶炉 | ||
【主权项】：
1.一种稳流装置，应用于拉晶炉，其特征在于，包括：第一稳流罩，所述第一稳流罩上设有多个第一通孔，所述第一稳流罩用于安装在所述拉晶炉的副炉室内，以调节通入所述拉晶炉副炉室内的惰性气体的流向；第二稳流罩，所述第二稳流罩上设有多个第二通孔，所述第二稳流罩用于安装在所述拉晶炉的副炉室内，并与所述第一稳流罩相对设置，用于调整经过所述第一稳流罩调整后的所述惰性气体的流向。
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