[发明专利]氧化铌旋转靶材的制备方法有效
| 申请号： | 201910554721.X | 申请日： | 2019-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN110218090B | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 宋伟杰 | 申请（专利权）人： | 宋伟杰 |
| 主分类号： | C04B35/495 | 分类号： | C04B35/495;C04B35/622 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 王学芝 |
| 地址： | 315201 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氧化铌旋转靶材的制备方法，包括以下步骤：将D50粒径为5～30μm与另一种D50粒径为0.3～4μm的氧化铌粉体混合；将混合体倒入含有分散剂的去离子水中，经过球磨形成浆料；利用常规的注浆成型方式实现氧化铌旋转靶材坯体的成型，将成型的坯体经干燥后置于冷等静压设备中，形成相对密度为60～75％的陶瓷坯体；将经过冷等静压的陶瓷坯体置于气氛烧结炉中进行烧结；将烧结出来的坯体经过切割、打磨后形成规定尺寸，即为氧化铌的旋转靶材成品。本发明的优点是：所制备的靶材密度、电导率较高，且所用设备简单。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化 旋转 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.氧化铌旋转靶材的制备方法，包括以下步骤：(1)将D50粒径为5～30μm与另一种D50粒径为0.3～4μm的氧化铌粉体混合，混合体中，D50粒径为5～30μm的氧化铌粉体的质量百分比为以30～80％；(2)将混合体倒入含有0.1～3wt％分散剂的去离子水中，经过8～24h的球磨形成浆料；(3)利用常规的注浆成型方式实现氧化铌旋转靶材坯体的成型，将成型的坯体经干燥后置于冷等静压设备中，以120～300MPa的冷等静压，保压时间为60～600s，形成相对密度为60～75％的陶瓷坯体；(4)将经过冷等静压的陶瓷坯体置于气氛烧结炉中，在常压氮气保护下，首先由室温以0.5～10℃/min的升温速率升到1300～1450℃，保温60～300min，然后，以0.5～10℃/min的降温速率降至室温；(5)将烧结出来的坯体经过切割、打磨后形成规定尺寸，即为氧化铌的旋转靶材成品。
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