[发明专利]一种基于干涉吸收腔红外吸收层的红外探测器及制备方法在审
| 申请号： | 201910551807.7 | 申请日： | 2019-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN110186575A | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 侯海港;黄清伟;乔冠军 | 申请（专利权）人： | 镇江爱豪科思电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/12 | 分类号： | G01J5/12;H01L35/34;H01L35/32 |
| 代理公司： | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 | 代理人： | 陈佳佳 |
| 地址： | 212009 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于红外探测领域，涉及一种基于干涉吸收腔红外吸收层的红外探测器及制备方法。其自上而下，其包括三大部分。第一部分为光学部分，包括第一SiO2层和第二Ge层。第二部分为热电部分，包括第一TiN层，第二Si3N4层，第三SiO2层，第四Al层，第五SiO2层以及第六N型多晶硅层。第三部分为支撑层部分，包括第一SiO2层，第二Si3N4以及第三SiO2层。本发明将光学设计引入非制冷热电堆红外探测器，结合材料和器件结构的光学设计与合理优化。光学设计后，光学干涉实现高红外吸收，在8‑14μm波段的平均红外吸收率高达85％以上，很大程度的提高了红外吸收，提高了非制冷热电堆红外探测器的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 光学设计 热电堆红外探测器 红外探测器 红外吸收层 红外吸收 非制冷 吸收腔 制备 红外吸收率 光学干涉 红外探测 结合材料 器件结构 支撑层 干涉 波段 热电 引入 优化 | ||
【主权项】：
1.一种基于干涉吸收腔红外吸收层的红外探测器，其特征在于，自上而下，其包括三大部分；第一部分为光学部分，包括第一SiO2层和第二Ge层；第二部分为热电部分，包括第一TiN层，第二Si3N4层，第三SiO2层，第四Al层，第五SiO2层以及第六N型多晶硅层；第三部分为支撑层部分，包括第一SiO2层，第二Si3N4以及第三SiO2层。
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