[发明专利]一种基于碳化后超声处理的钛基金刚石涂层结合力增强方法

摘要

一种基于碳化后超声处理的钛基金刚石涂层结合力增强方法，其特征是它的主要步骤有：首先使用砂纸打磨钛衬底表面以去除表面氧化层和油污，之后超声清洗衬底表面，其次采用喷砂机对衬底表面进行喷砂处理，之后采用化学气相沉积设备对衬底进行碳化处理，然后对碳化后的衬底置于金刚石微粉丙酮悬浊液中超声震荡，最后，将超声清洗并吹干后的钛衬底置于化学气相沉积设备中进行金刚石涂层制备。本发明工艺简单，操作容易，且相对于传统喷砂后随即超声震荡预处理等方法，膜基结合性能得到了明显改善。

主权项

1.一种基于碳化后超声处理的钛基金刚石涂层结合力增强方法，其特征是它包括以下步骤：步骤一，使用360~1000目的砂纸打磨钛衬底表面共10分钟，然后使用无水乙醇超声清洗至少10分钟，初步去除钛衬底表面氧化层，油污等污染物；步骤二，采用喷砂机对钛衬底表面进行喷砂处理，进一步净化衬底表面并得到具有较大比表面积和大量表面缺陷的衬底表面；步骤三，采用化学气相沉积设备对衬底表面进行碳化处理，使衬底表面与含碳气氛发生反应生成碳化钛，同时碳化钛的生成使得衬底表面形貌发生改变，出现蜂巢状的多孔微结构；步骤四，将碳化后的衬底放置于金刚石微粉丙酮悬浊液中进行超声震荡处理，衬底与金刚石微粉间的刮擦作用会使衬底表面出现大量的微观缺陷，同时植晶，然后在无水乙醇中超声清洗，最后采用压缩氮气吹干；步骤五，将经过一系列预处理的钛衬底置于化学气相沉积设备中进行金刚石涂层的制备。