[发明专利]化合物、化合物的制备方法及有机膜形成用组合物有效
| 申请号： | 201910539260.9 | 申请日： | 2019-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN110627600B | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 橘诚一郎;渡边武;新井田惠介;长井洋子;泽村昂志;荻原勤;亚历山大·爱德华·赫斯;格雷戈里·布雷塔;丹尼尔·保罗·桑德斯;鲁迪·J·沃伊泰茨基 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社;国际商业机器公司 |
| 主分类号： | C07C1/26 | 分类号： | C07C1/26;C07C13/567;C07C15/02;C07C13/62;C07C13/66;C07D221/16;C07D519/00;C07C15/50;C07C41/30;C07C43/21;C07C43/285;C07D307/91;C07D209/86;C07 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 张晶;谢顺星 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供化合物、该化合物的制备方法及使用了该化合物的有机膜形成用组合物，该化合物能够形成不仅在空气中、而且在惰性气体中的成膜条件下也固化而不产生副产物，耐热性及形成于基板的图案的嵌入或平坦化特性优异，且基板加工时的干法蚀刻耐性也良好的有机下层膜。该化合物在分子内具有2个以上下述通式(1‑1)所示的结构。 |
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| 搜索关键词： | 化合物 制备 方法 有机 形成 组合 | ||
【主权项】：
1.一种化合物，其在分子内具有2个以上下述通式(1-1)所示的结构，/n[化学式1]/n
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