[发明专利]一种物理气相沉积样品加热装置有效
| 申请号： | 201910538882.X | 申请日： | 2019-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN110144566B | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 高炬;赵蒙 | 申请（专利权）人： | 枣庄学院 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/08 |
| 代理公司： | 苏州今迈知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32524 | 代理人： | 张佩璇 |
| 地址： | 山东省枣*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明属于物理气相沉积镀氧化物薄膜技术领域，具体涉及一种物理气相沉积样品加热装置。其包括在密闭腔体内工作的加热元件和承载样品的载样机构，所述加热元件为碳化硅加热板。本发明提供的技术方案利用碳化硅加热元件，开发了一种小型价廉的氧化物镀膜用样品加热装置，可以在高氧气压环境中实现1000℃以上稳定工作，该加热装置体积小寿命长，变温迅速，温度稳定、能承受环境气压和温度的急剧变化、价格低廉，并能很方便地在真空下实施样品的更换。为氧化物薄膜的沉积生长提供了一个很好的加热手段。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 物理 沉积 样品 加热 装置 | ||
【主权项】：
1.一种物理气相沉积样品加热装置，其特征在于，包括在密闭腔体内工作的加热元件和承载样品的载样机构，所述加热元件为碳化硅加热板。
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