[发明专利]一种高质量锡酸锌单晶薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 201910536407.9 | 申请日： | 2019-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN110172733B | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 马瑾;栾彩娜;何林安 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | C30B29/22 | 分类号： | C30B29/22;C30B23/02;C30B33/02 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 杨磊 |
| 地址： | 250199 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种高质量锡酸锌单晶薄膜及其制备方法，采用脉冲激光沉积工艺，以Zn |
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| 搜索关键词： | 一种 质量 锡酸锌单晶 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种锡酸锌单晶薄膜，其特征在于，该薄膜化学组成为锡酸锌，为具有反尖晶石结构的单晶薄膜。
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