[发明专利]一种飞秒脉冲激光诱导多壁碳纳米管产生共价互连的工艺有效
| 申请号： | 201910528568.3 | 申请日： | 2019-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN110282613B | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 崔健磊;梅欢欢;梅雪松;王文君;张建伟;段文强;凡正杰;刘斌 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C01B32/168 | 分类号： | C01B32/168;C04B41/50;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种飞秒脉冲激光诱导多壁碳纳米管产生共价互连的工艺，先将多壁碳纳米管MWCNTs在十二烷基硫酸钠(SDS)水溶液中超声得到非共价修饰的MWCNTs，然后将其利用旋涂工艺涂覆到二氧化硅基底表面，最后利用搭建飞秒脉冲激光诱导MWCNTs互连光路对MWCNTs进行诱导互连，本发明诱导互连的MWCNTs接头结构为共价互连，无需精准定位，工艺简单，加工效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 脉冲 激光 诱导 多壁碳 纳米 产生 共价 互连 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种飞秒脉冲激光诱导多壁碳纳米管产生共价互连的工艺，其特征在于，包括以下步骤：1)非共价修饰多壁碳纳米管MWCNTs；2)搭建飞秒脉冲激光诱导MWCNTs互连光路；3)MWCNTs沉积到二氧化硅基底上；4)调节飞秒脉冲激光物理参数，进行MWCNTs诱导互连。
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