[发明专利]一种带周期伸缩式可变衍射光栅的微加速度传感器有效
| 申请号： | 201910527294.6 | 申请日： | 2019-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN110208576B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 李以贵;高磊;王欢;张成功;蔡金东 | 申请（专利权）人： | 上海应用技术大学 |
| 主分类号： | G01P15/03 | 分类号： | G01P15/03;G01P1/00 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 赵志远 |
| 地址： | 201418 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种带周期伸缩式可变衍射光栅的微加速度传感器，包括基座、与基座固定连接的悬臂梁、与悬臂梁的自由端固定连接的质量块、以及用于测量悬臂梁位移的测量机构，测量机构包括两端分别与基座和质量块连接的周期伸缩式可变衍射光栅、以及固定于基座上的激光器和光电探测器；激光器和光电探测器分别置于周期伸缩式可变衍射光栅的两侧。与现有技术相比，本发明采用周期伸缩式可变衍射光栅测量物体加速度，利用光学光栅的误差平均效应的特点，具有测量精度高、响应速度快、测量高效、更容易测量精密振动等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 周期 伸缩 可变 衍射 光栅 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种带周期伸缩式可变衍射光栅的微加速度传感器，包括基座(6)、与所述基座(6)固定连接的悬臂梁(4)、与所述悬臂梁(4)的自由端固定连接的质量块(5)、以及用于测量所述悬臂梁(4)位移的测量机构，其特征在于，所述测量结构包括两端分别与所述基座(6)和质量块(5)连接的周期伸缩式可变衍射光栅(2)、以及固定于所述基座(6)上的激光器(1)和光电探测器(3)；所述激光器(1)和光电探测器(3)分别置于所述周期伸缩式可变衍射光栅(2)的两侧。
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