[发明专利]一种硫系多元合金靶材及其制造方法在审
| 申请号： | 201910526761.3 | 申请日： | 2019-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN110396665A | 公开（公告）日： | 2019-11-01 |
| 发明（设计）人： | 何金江;石红春;万小勇;刘晓华;张晓娜;毛永军;闫缓;李勇军 | 申请（专利权）人： | 有研新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35;C23C14/14;C22C30/00 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 陈波 |
| 地址： | 100088 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硫系多元合金靶材及其制造方法，所述靶材包括的化学元素及其质量分数为：锗10‑30％，砷20‑40％，硒30‑50％，硅0‑10％，碲0‑10％；所述靶材的相对密度≥99.5％，氧含量低于150ppm。所述制造方法首先在真空条件下合成高纯度合金，再采用高速喷嘴气雾化制球形粉末，合金快速凝固成玻璃态，同时增氧很小，最后采用真空热压或者放电等离子体烧结实现高致密烧结成形，烧结过程中不存在污染问题。采用本发明制备的硫系多元合金靶材的综合性能好，组织性能优异，密度高，氧含量低。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 多元合金 硫系 化学元素 放电等离子体烧结 制造 高纯度合金 高速喷嘴 快速凝固 球形粉末 烧结成形 烧结过程 污染问题 真空热压 真空条件 质量分数 综合性能 组织性能 玻璃态 高致密 气雾化 增氧 制备 合金 合成 | ||
【主权项】：
1.一种硫系多元合金靶材，其特征在于，包括的化学元素及其质量分数为：锗10‑30％，砷20‑40％，硒30‑50％，硅0‑10％，碲0‑10％；所述靶材的相对密度≥99.5％，氧含量低于150ppm。
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