[发明专利]离子束照射装置在审
| 申请号： | 201910526439.0 | 申请日： | 2019-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN110890264A | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 藤本龙吾;国立圭一 | 申请（专利权）人： | 日新离子机器株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 李南山;郑特强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种离子束照射装置，所述离子束照射装置不使用灯具加热器或钨丝等的发热体，而可在广范围加热真空容器壁面，以使水成分挥发。本发明的离子束照射装置在开放至大气后的基板处理前，对构成离子束的输送路的真空容器壁面扫描离子束。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 照射 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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