[发明专利]一种平面靶材的加工方法在审
| 申请号： | 201910522209.7 | 申请日： | 2019-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN110090992A | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 黄宇彬;蔡新志;童培云;于金凤;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | B23C3/00 | 分类号： | B23C3/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 刘猛 |
| 地址： | 511500 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及靶材制造技术领域，尤其涉及一种平面靶材的加工方法。所述平面靶材的加工方法，包括以下步骤：A)在铝材料上加工出冷却液沟槽和零件固定槽，得到平面靶材的工装；B)将所述工装与待加工的平面靶材的背板贴合固定；C)对所述待加工的平面靶材的侧面依次进行粗加工和精加工；所述粗加工和精加工的过程中，采用无水乙醇作为冷却液；D)对所述精加工后的平面靶材进行上表面加工。采用本发明提供的加工方法得到的平面靶材外形精度较优，表面粗糙度较低。实验表明，采用本发明提供的加工方法得到的平面靶材符合尺寸公差，可以实现不超过0.03mm的外形精度，且平面靶材的粗糙度Ra不超过0.8。 | ||
| 搜索关键词： | 平面靶材 加工 精加工 冷却液 工装 表面粗糙度 尺寸公差 粗糙度Ra 零件固定 贴合固定 无水乙醇 铝材料 上表面 靶材 背板 侧面 制造 | ||
【主权项】：
1.一种平面靶材的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：A)在铝材料上加工出冷却液沟槽和零件固定槽，得到平面靶材的工装；B)将所述工装与平面靶材的背板贴合固定；C)对所述平面靶材的侧面依次进行粗加工和精加工；所述粗加工和精加工的过程中，采用无水乙醇作为冷却液；D)对所述精加工后的平面靶材进行上表面加工。
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