[发明专利]具有原子级平整表面的SrTiO3

摘要

本发明涉及一种具有原子级平整表面的SrTiO3多晶界衬底的制备方法，其包括以下步骤：将一未处理的SrTiO3多晶界衬底置于一真空室中，该真空室的压强低于10‑9mbar，其中，该未处理的SrTiO3多晶界衬底包括多个共面拼接设置且晶向不同的SrTiO3单晶衬底，相邻SrTiO3单晶衬底之间具有沟槽，且每个SrTiO3单晶衬底表面为非原子级平整；以及将该未处理的SrTiO3多晶界衬底加热至1050℃以上，对该未处理的SrTiO3多晶界衬底退火10分钟以上。本发明还涉及一种采用上述方法制备的具有原子级平整表面的SrTiO3多晶界衬底，其包括：多个共面拼接设置且晶向不同的SrTiO3单晶衬底，其中，相邻SrTiO3单晶衬底之间的晶界完全愈合，形成原子级接触，且每个SrTiO3单晶衬底表面为原子级平整。

主权项

1.一种SrTiO₃多晶界衬底的制备方法，其特征在于，其包括以下步骤：将一未处理的SrTiO₃多晶界衬底置于一真空室中，该真空室的压强低于10^‑9mbar，其中，该未处理的SrTiO₃多晶界衬底包括多个共面拼接设置且晶向不同的SrTiO₃单晶衬底，相邻SrTiO₃单晶衬底之间具有沟槽，且每个SrTiO₃单晶衬底表面为非原子级平整；以及将该未处理的SrTiO₃多晶界衬底加热至1050℃以上，对该未处理的SrTiO₃多晶界衬底退火10分钟以上。