[发明专利]稳固PI基板防止翘曲的方法及显示面板的制作方法有效
| 申请号: | 201910511159.2 | 申请日: | 2019-06-13 |
| 公开(公告)号: | CN110071231B | 公开(公告)日: | 2022-08-12 |
| 发明(设计)人: | 胡春静 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/00 |
| 代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 郭栋梁 |
| 地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 本申请公开了一种稳固PI基板防止翘曲的方法及显示面板的制作方法,稳固PI基板防止翘曲的方法包括以下步骤:在基板上形成双亲性材料层;在双亲性材料层上形成PI层,双亲性材料层至少位于PI层边缘部位的下方,PI层的固化温度高于双亲性材料层的临界溶解温度。上述方案,由于在基板与PI层之间形成了双亲性材料层,PI层加热固化时,随着温度升高,在温度大于双亲性材料层的临界溶解温度时,双亲性材料层中的双亲性物质呈现疏液性,这样PI层的边缘收缩是在疏液的双亲性材料层上面,PI层收缩部位与基板之间可以产生一定的滑移量,克服了因PI层和基板之间存在结合强度的附着力,而导致PI层收缩部位牵引着基板发生翘曲的问题,在基板不发生翘曲的情况下,可以保证后续工艺器件的制作精度,且不会对成膜设备造成损伤。 | ||
| 搜索关键词: | 稳固 pi 防止 方法 显示 面板 制作方法 | ||
【主权项】:
1.一种稳固PI基板防止翘曲的方法,其特征在于,包括以下步骤:在基板上形成双亲性材料层;在所述双亲性材料层上形成PI层,所述双亲性材料层至少位于所述PI层边缘部位的下方,所述PI层的固化温度高于所述双亲性材料层的临界溶解温度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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