[发明专利]一种适用于一体式三轴磁传感器的磁场调制结构

摘要

本发明公开了一种适用于一体式三轴磁传感器的磁场调制结构，包括绝缘基底和设于绝缘基底上的谐振部件，所述谐振部件为方框结构且两端通过锚点支撑固定在绝缘基底上，所述谐振部件的中部设有双端固支梁，所述双端固支梁的表面设有压电部件，所述双端固支梁的每一侧均设有两个间隙布置的悬臂梁，每一个悬臂梁的下表面设有一个软磁薄膜。本发明针对现有三轴磁传感器方案1/f噪声较大的问题，采用压电驱动、一体化设计的方式实现三轴磁传感器被测磁场的调制，具有高调制效率、高一致性、高一体化程度及实现简单的优点。

主权项

1.一种适用于一体式三轴磁传感器的磁场调制结构，其特征在于：包括绝缘基底（1）和设于绝缘基底（1）上的谐振部件（2），所述谐振部件（2）为方框结构且两端通过锚点（21）支撑固定在绝缘基底（1）上，所述谐振部件（2）的中部设有双端固支梁（22），所述双端固支梁（22）的表面设有压电部件（3），所述双端固支梁（22）的每一侧均设有两个间隙布置的悬臂梁（23），每一个悬臂梁（23）的下表面设有一个软磁薄膜（4）。