[发明专利]一种多层薄膜太阳能电池及其薄膜厚度设计方法

摘要

本发明公开了一种多层薄膜太阳能电池及其薄膜厚度设计方法，多层薄膜太阳能电池的材料及结构依次为：氧化铟锡ITO为材料的增透膜→二氧化硅SiO₂为材料的第一中间层→非晶硅aSi为材料的吸收层→氧化铝Al₂O₃为材料的第二中间层→铝Al为材料的金属层。按照外部量子效率计算公式，由模拟退火算法设计多层薄膜太阳能电池各层薄膜厚度，本发明设计的多层薄膜太阳能电池提高了太阳能电池的外部量子效率以及器件的稳定性。

主权项

1.一种多层薄膜太阳能电池，包括增透膜(1)、吸收层(3)、金属层(5)，其特征在于，还包括在增透膜(1)和吸收层(3)之间设置的第一中间层(2)以及在吸收层(3)和金属层(5)之间设置的第二中间层(4)组成多层薄膜太阳能电池，其结构依次为：增透膜(1)→第一中间层(2)→吸收层(3)→第二中间层(4)→金属层(5)；各层薄膜材料依次为：增透膜材料为氧化铟锡ITO，第一中间层材料为二氧化硅SiO₂，吸收层材料为非晶硅aSi，第二中间层材料为氧化铝Al₂O₃，金属层材料为铝Al。