[发明专利]改进飞行时间质谱测量激光烧蚀离子物种的质谱分辨装置

摘要

本发明涉及质谱分析技术领域，提供一种改进飞行时间质谱测量激光烧蚀离子物种的质谱分辨装置，包括：真空系统单元、等离子体产生单元和粒子约束选择及分离单元，其中：所述粒子约束选择及分离单元包括：粒子限制选择器和多个离子脉冲加速电极板；所述粒子限制选择器包括约束器托举块、约束器和约束器选择挡片；所述约束器托举块中开设一个通孔；所述约束器选择挡片上设置不同孔径的多个圆孔，所述约束器和约束器选择挡片设置在约束器托举块中并且可以移动；所述离子脉冲加速电极板设置在粒子前进方向上，并与约束器托举块轴向平行。本发明能够提高飞行时间质谱分辨率，能够选择控制引入等离子体的范围，具有更好的实用性效果。

主权项

1.一种改进飞行时间质谱测量激光烧蚀离子物种的质谱分辨装置，其特征在于，包括：真空系统单元(1)、等离子体产生单元(2)和粒子约束选择及分离单元(3)，其中：所述真空系统单元(1)包括真空脉冲引出场腔室(11)和真空无场漂移腔室(12)；所述等离子体产生单元(2)，包括：纳秒脉冲激光器(21)、激光反射镜(22)、激光聚焦透镜(23)、样品托举靶(24)和旋转电机(25)；所述样品托举靶(24)设置在旋转电机(25)的轴上；所述纳秒脉冲激光器(21)产生的激光依次通过激光反射镜(22)和激光聚焦透镜(23)照射到样品托举靶(24)上放置的样品上；所述激光聚焦透镜(23)、样品托举靶(24)分别置于真空脉冲引出场腔室(11)中；所述粒子约束选择及分离单元(3)，包括：粒子限制选择器和多个离子脉冲加速电极板(34)；所述粒子限制选择器包括约束器托举块(31)、约束器(32)和约束器选择挡片(33)；所述约束器托举块(31)中开设一个通孔；所述约束器选择挡片(33)上设置不同孔径的多个圆孔，且所述约束器(32)与约束器选择挡片(33)均设置在约束器托举块(31)中；所述约束器(32)与约束器选择挡片(33)能够在约束器托举块(31)中移动；所述离子脉冲加速电极板(34)设置在粒子前进方向上，并与约束器托举块(31)轴向平行；所述粒子限制选择器、离子脉冲加速电极板(34)分别设置在真空脉冲引出场腔室(11)中；所述粒子限制选择器设置在最前端相邻的两个离子脉冲加速电极板(34)之间。