[发明专利]高温碳化炉在审
申请号: | 201910496999.6 | 申请日: | 2019-06-10 |
公开(公告)号: | CN110878434A | 公开(公告)日: | 2020-03-13 |
发明(设计)人: | 王智永 | 申请(专利权)人: | 永虹先进材料股份有限公司 |
主分类号: | D01F9/12 | 分类号: | D01F9/12 |
代理公司: | 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 | 代理人: | 黄超;周春发 |
地址: | 中国台湾桃*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明的高温碳化炉,包括有:一腔体、至少两组微波单元,以及一控制电路;各微波单元,依序沿着腔体的加工路径配置;其该控制电路用以接收复数个分布于腔体的加工路径处的温度感测器的讯号;可透过控制电路产生控制讯号以控制不同微波单元当中的磁控管开启或关闭,或是控制调节不同微波单元当中的磁控管功率的方式,使加工路径在每一组微波单元的位置呈现预期的温度条件。此外,腔体内温度亦可以作准确的调控,使得腔体内的温度分布能够均匀及对加工对象的加热均匀性能够提升,并且可调整不同温区的温度梯度控制,达到可依照加工对象的需求调控加工路径温度条件的优势。 | ||
搜索关键词: | 高温 碳化 | ||
【主权项】:
暂无信息
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