[发明专利]一种微波功率传感器及微波功率测量方法在审
| 申请号： | 201910495356.X | 申请日： | 2019-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN110187169A | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 韩磊;李江涛;秦瑞洁 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01R21/02 | 分类号： | G01R21/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微波功率传感器，其包括：衬底、设置在衬底上的共面波导单元与设置在共面波导结构一侧的测量单元，共面波导单元包括共面波导结构与吸收电阻，共面波导结构接收微波信号并传输到吸收电阻，微波信号在吸收电阻上产生损耗导致吸收电阻的温度升高，测量单元包括石墨烯薄膜与驱动电极，石墨烯薄膜感应吸收电阻的温度升高并使石墨烯薄膜的电阻值减小，改变施加于驱动电极上的调控电压使石墨烯薄膜的电阻值回复到初始值以实现微波信号的微波功率测量。上述基于电压调控石墨烯薄膜的微功率传感器具有结构简单、灵敏度高、测量范围大、测量精度高、体积小、与Si或GaAs工艺兼容、低成本等优点，满足集成电路对器件的要求，提高了适用性。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨烯薄膜 吸收电阻 共面波导结构 微波信号 微波功率传感器 共面波导单元 微波功率测量 测量单元 驱动电极 衬底 电阻 测量精度高 电压调控 调控电压 工艺兼容 低成本 灵敏度 体积小 微功率 传感器 减小 集成电路 回复 测量 施加 传输 | ||
【主权项】：
1.一种微波功率传感器，其特征在于，所述传感器包括：衬底、设置在所述衬底上的共面波导单元与设置在所述共面波导结构一侧的测量单元，所述共面波导单元包括共面波导结构与吸收电阻，所述共面波导结构接收微波信号并传输到所述吸收电阻，所述微波信号在所述吸收电阻上产生损耗导致所述吸收电阻的温度升高，所述测量单元包括石墨烯薄膜与驱动电极，所述石墨烯薄膜感应所述吸收电阻的温度升高并使所述石墨烯薄膜的电阻值减小，改变施加于所述驱动电极上的调控电压使所述石墨烯薄膜的电阻值回复到初始值以实现所述微波信号的微波功率测量。
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