[发明专利]飞秒激光协同氧化反应制备宽谱带抗反射结构的方法在审
| 申请号： | 201910484540.4 | 申请日： | 2019-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN110116273A | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 姜澜;柳海林;胡洁 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/60;C01G3/02;B82Y30/00;B82Y40/00;B23K103/12 |
| 代理公司： | 北京理工正阳知识产权代理事务所(普通合伙) 11639 | 代理人： | 王民盛 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及飞秒激光协同氧化反应制备宽谱带抗反射结构的方法，属于抗反射结构加工技术领域。该方法先将待加工材料(样品)置于飞秒激光加工光路系统中，利用聚焦物镜，使飞秒激光的光斑聚焦在样品表面；然后通过控制飞秒激光加工光路中机械快门的开关和平移台的移动，使飞秒激光的聚焦光斑在样品表面先后进行x方向和y方向的烧蚀加工，在样品表面制备出微米级锥状结构阵列；最后将样品置于搅拌均匀的过硫酸铵和氢氧化钠的混合溶液中，发生氧化反应使样品表面生长出海胆状微纳米复合结构。对比现有技术，本发明实施过程简单，重复性好；结构在超宽波长范围内能够保持稳定且优异的抗反射性能，在光伏、军事等领域有较高的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 飞秒激光 样品表面 抗反射结构 制备 飞秒激光加工 协同氧化 宽谱带 微纳米复合结构 加工技术领域 锥状结构阵列 待加工材料 混合溶液中 抗反射性能 光斑 光路系统 过硫酸铵 机械快门 聚焦光斑 聚焦物镜 氢氧化钠 氧化反应 微米级 波长 超宽 胆状 光伏 光路 烧蚀 聚焦 生长 移动 加工 军事 应用 | ||
【主权项】：
1.一种飞秒激光协同氧化反应制备超宽谱带高抗反射性能的海胆状微纳米复合结构方法，其特征在于：(1)将待加工材料(样品)置于飞秒激光加工光路系统中，利用聚焦物镜，使飞秒激光的光斑聚焦在样品表面；(2)通过控制飞秒激光加工光路中机械快门的开关和平移台的移动，使飞秒激光的聚焦光斑在样品表面先后进行x方向和y方向的烧蚀加工，在样品表面制备出微米级锥状结构阵列；(3)将样品置于搅拌均匀的过硫酸铵和氢氧化钠的混合溶液中，发生氧化反应使样品表面生长出海胆状微纳米复合结构。
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