[发明专利]一种主基板用表面精整制造打磨装置

摘要

本发明公开了一种主基板用表面精整制造打磨装置，包括操作台、驱动电机和打磨盘，驱动电机设置于操作台的上方，操作台的顶端设有位置调整机构，操作台顶端的中部固定连接有载物罩，操作台底端的一侧固定连接有抽气泵，抽气泵通过抽气管与载物罩的内腔连通，抽气管的一端固定连接有密封管头，且密封管头与载物罩内腔的底端固定连接。本发明利用抽气泵和抽气管将载物罩内的空气抽出，使载物罩内形成负压，从而将主基板吸附固定在载物罩的顶端，以便于打磨盘对主基板的上表面进行全面打磨，省去了二次打磨的繁琐，提高了主基板的打磨质量。

主权项

1.一种主基板用表面精整制造打磨装置，包括操作台（1）、驱动电机（2）和打磨盘（3），其特征在于：所述驱动电机（2）设置于操作台（1）的上方，所述打磨盘（3）的顶端通过转轴与驱动电机（2）的输出轴传动连接，所述操作台（1）的顶端设有位置调整机构，所述操作台（1）顶端的中部固定连接有载物罩（6），所述操作台（1）底端的一侧固定连接有抽气泵（4），所述抽气泵（4）的进气口密封卡接有抽气管（5），所述抽气管（5）的一端贯穿操作台（1）的底端并与载物罩（6）的底端穿插连接，所述抽气管（5）的一端固定连接有密封管头（7），且所述密封管头（7）与载物罩（6）内腔的底端固定连接。