[发明专利]高效选择性发射极太阳能电池扩散工艺

摘要

本发明涉及一种一种高效选择性发射极太阳能电池扩散工艺，包括：进舟‑升温‑恒温‑氧化‑沉积1‑推进1‑沉积2‑推进2‑氧化‑沉积3‑升温‑降温‑沉积4‑降温‑取舟。本发明通过工艺中增加高温后氧化，低温后沉积步骤结束后继续升温保持一定的高温条件下激活磷源，随后降温氧化沉积吸杂富磷，该改进的步骤可以有效的使在已经形成的PSG中的磷源能够继续向硅基体中分布，另外使得PSG中富含大量的有效磷源。该工艺的改进使得扩散后未激光区域继续保持低表面浓度，而激光重掺杂区域为高表面浓度，有效的解决了未激光区域低表面浓度与激光重掺杂区域高表面浓度的兼容问题；通过工艺的改进扩散后方阻均一性有了明显的改善；激光重掺杂区域方阻更低，金属化接触更好。

主权项

1.一种高效选择性发射极太阳能电池扩散工艺，其特征在于包括以下步骤：1)进舟：时间500‑600s，温度750‑780℃，大氮2‑5slm；2)升温：时间200‑300s，温度750‑780℃，大氮1‑2slm；3)恒温：时间100‑200s，温度750‑780℃，大氮0.5‑1slm；4)氧化：时间300‑400s，温度790‑800℃，大氮1‑5slm，氧气流量1‑2slm；5)沉积1：时间400‑600s，温度790‑800℃，大氮1‑5slm，氧气流量0.5‑1.5slm，小氮流量0.5‑1.2slm；6)推进1：时间500‑800s，温度800‑830℃，大氮1‑5slm，氧气流量0.5‑1slm；7)沉积2：时间400‑600s，温度800‑830℃，大氮1‑5slm，氧气流量0.5‑1.5slm，小氮流量0.5‑1slm；8)推进2：时间500‑800s，温度830‑850℃，大氮1‑5slm，氧气流量0.5‑1slm；9)氧化：时间500‑700s，温度850‑700℃，大氮流量1‑8slm，氧气1‑6slm；10)沉积3：时间400‑600s，温度700‑850，大氮流量1‑8slm，氧气1‑6slm，小氮流量0.1‑2.5slm；11)升温:时间600‑1000s，温度750‑900℃，大氮流量1‑8slm；12)降温：时间400‑600s，温度900‑700℃，大氮流量1‑10slm，氧气流量0.1‑5slm；13)沉积4：时间400‑600s，温度850‑700℃，大氮流量1‑10slm，氧气流量0.1‑5slm，小氮流量0.1‑2slm；14)降温：时间200‑400s，温度780‑750℃，大氮2‑5slm；15)取舟：时间500‑600s，温度750‑780℃，大氮2‑5slm。