[发明专利]一种阵列基板、其制作方法及显示装置

摘要

本发明公开了一种阵列基板、其制作方法及显示装置，该阵列基板包括：衬底基板，位于衬底基板上依次层叠设置的遮光金属层、缓冲层、有源层、栅极绝缘层、栅极、层间绝缘层、源漏极和钝化层；栅极所在的第一金属膜层还包括栅线，源漏极所在的第二金属膜层还包括数据线；栅线在与数据线相对区域的表面具有氧化物金属层。本发明通过在与数据线具有相对区域的栅线的表面设置氧化物金属层，由于氧化物金属层的介电常数和击穿电压较高，可以极大的降低栅线和数据线在交叠区域发生短路的可能性。因此采用本发明实施例提供的阵列基板能够解决相关技术中栅线和数据线之间的交叠区域易发生短路，而造成面板良率下降的问题。

主权项

1.一种阵列基板，其特征在于，包括：衬底基板，位于所述衬底基板上依次层叠设置的遮光金属层、缓冲层、有源层、栅极绝缘层、栅极、层间绝缘层、源漏极和钝化层；所述栅极所在的第一金属膜层还包括栅线，所述源漏极所在的第二金属膜层还包括数据线；所述栅线在与所述数据线相对区域的表面具有氧化物金属层。