[发明专利]基于PSO算法及PID控制的超声键合频率跟踪方法有效

专利信息
申请号: 201910465264.7 申请日: 2019-05-30
公开(公告)号: CN110531611B 公开(公告)日: 2022-12-06
发明(设计)人: 隆志力;李祚华;王超;任峰 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学(深圳)
主分类号: G05B11/42 分类号: G05B11/42
代理公司: 深圳市千纳专利代理有限公司 44218 代理人: 刘晓敏
地址: 518000 广东省深圳市南*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种基于PSO算法及PID控制的超声键合频率跟踪方法,采用基于惯性权重递减的PSO算法的PID参数自整定,从而利用MCU中的PID控制部分跟踪超声换能器的谐振频率,并利用可编辑的电压轨迹加载方式给超声发生器供能,整个过程实现自动化,克服了传统PID控制器参数整定需要大量的时间以及经验的不足。而且,相比传统PID参数整定方法对被控参数稳定性的要求,本发明可以实现对被控参数变化时的自动整定,并且采用可编辑的电压轨迹加载方式给超声发生器供能,更好的跟踪换能器的谐振频率变化,不断的调整驱动频率,能够稳定能量输出,使换能器工作在谐振频率状态,有效延长超声换能器的寿命。
搜索关键词: 基于 pso 算法 pid 控制 超声键合 频率 跟踪 方法
【主权项】:
1.一种基于PSO算法及PID控制的超声键合频率跟踪方法,其特征在于:其包括以下步骤:/n(1)由上位机设置好一个初始的启动频率并发送给MCU,MCU控制超声发生器给予超声换能器这个启动频率;/n(2)超声换能器的电压和电流信号经过有效值采集电路被转换为有效值,并反馈到MCU上计算出键合实时阻抗并传递至上位机;/n(3)超声换能器的电压和电流经过反馈电路被转换为方波后反馈到MCU上,由MCU计算出电压与电流信号的相位差并传递至上位机;/n(4)根据反馈的电压电流的相位差,MCU内的PID控制部分利用反馈回的电压、电流相位差作为反馈输入,计算出超声发生器的输出频率以及输出电压的幅值并发送给超声发生器,从而更好的跟踪换能器的谐振频率变化。/n
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