[发明专利]一种3D打印辅助离子束抛光方法

摘要

本发明提供的3D打印辅助离子束抛光方法，利用3D打印技术在在待加工光学镜面上上制作高精度牺牲层，再对牺牲层进行离子束刻蚀加工，将牺牲层表面面形精度复制到光学镜面上，突破离子束抛光技术对镜面中高频去除能力低的技术瓶颈，提升离子束抛光光学镜面，尤其是非球面的加工效率及加工精度，拓展离子束抛光技术的应用范围，本发明提供的3D打印辅助离子束抛光方法，利用3D打印技术制造镜面牺牲层，与现有的旋涂、喷涂等加工手段相比，3D打印技术制作的表面牺牲层确定性更好，能根据面形误差的特点进行优化计算，制造的牺牲层不受光学表面曲率变化、频段误差分布特点等因素影响，面形加工精度高。

主权项

1.一种3D打印辅助离子束抛光方法，其特征在于，包括下述步骤：对待加工光学镜面进行干涉检测，获得镜面误差，所述镜面误差为所述待加工光学镜面的实际面形与理论面形的偏差；利用PSD谱段分布分析所述镜面误差；根据所述镜面误差的分析结果计算3D打印的加工文件；根据所述加工文件，在所述光学镜面上进行3D打印，形成牺牲层；调整离子束抛光的工作参数，使所述待加工光学镜面材料与所述牺牲层材料具有相同的材料去除速率；获取所述工作参数对应的离子束抛光去除函数；以所述离子束抛光去除函数为基础计算离子束加工驻留时间，生成离子束抛光加工文件；对所述离子束抛光加工文件进行离子束抛光，将所述牺牲层的面形精度及表面质量复制到所述待加工光学镜面上；对所述待加工光学镜面进行干涉检测，若镜面误差满足要求则结束加工；若镜面误差不满足要求，则重复上述步骤，直到镜面误差满足精度要求为止。