[发明专利]一种微小力的加载测量装置和方法有效
| 申请号： | 201910461694.1 | 申请日： | 2019-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN110146370B | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 赵旸;杨晓晨;王涛 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G01N3/00 | 分类号： | G01N3/00;G01N3/08 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王宝筠 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种微小力的加载测量装置和方法，包括压电组件、移动组件、第一加载模块、第二加载模块、第一测量模块和处理模块；所述第一加载模块用于通过所述压电组件的形变向所述移动组件施加机械力，并通过所述机械力带动所述移动组件移动；所述第二加载模块用于向所述移动组件施加静电力，并通过所述静电力带动所述移动组件移动；所述第一测量模块用于测量所述移动组件的位移量；所述处理模块用于根据所述移动组件的位移量得到所述移动组件所承受的力的大小，所述力包括所述机械力、所述静电力以及粘附力，从而实现了机械加载和电加载的耦合测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微小 加载 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微小力的加载测量装置，其特征在于，包括压电组件、移动组件、第一加载模块、第二加载模块、第一测量模块和处理模块；所述第一加载模块用于控制所述压电组件产生形变，并通过所述形变向所述移动组件施加机械力，通过所述机械力带动所述移动组件移动；所述第二加载模块用于向所述移动组件施加静电力，并通过所述静电力带动所述移动组件移动；所述第一测量模块用于测量所述移动组件的位移量；所述处理模块用于根据所述移动组件的位移量得到所述移动组件所承受的力的大小，所述力包括所述机械力和所述静电力。
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