[发明专利]CMUTs谐振式生化传感器的低电压阻抗匹配方法及匹配网络

摘要

本发明公开了CMUTS谐振式生化传感器的低电压阻抗匹配方法及匹配网络，CMUTs谐振式生化传感器的低电压阻抗匹配方法，包括电压源，LC调谐网络，CMUTs等效电路网络以及负载网络。电压源，主要为LC调谐网络，CMUTs等效电路网络以及负载网络提供交流电压。通过LC调谐网络对CMUTs等效电路网络在并联谐振频率处电抗进行阻抗匹配，使其串并联谐振频率过零点。本发明使CMUTs在低电压下具有过零点的串并联谐振频率，所述阻抗匹配方法简单方便，能够使CMUTs在小于30V直流偏置电压下谐振，反射损失S11在谐振工作频率点减小到‑25dB～‑40dB之间，提高回波损耗S21大于‑3dB，降低了CMUTs功耗并提高传输效率。

主权项

1.CMUT_S谐振式生化传感器的低电压阻抗匹配方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、设计CMUTs的等效电路网络；步骤2、根据步骤1得到的计CMUTs的等效电路网络设计LC调谐网络，LC调谐网络包括电感L₁和调谐电容C₁，并确定LC调谐网络中电感L₁的电感值和调谐电容C₁电容值；步骤3、将LC调谐网络连接在CMUTs的输入端。