[发明专利]一种多悬臂热双金属驱动器及其制备方法在审
| 申请号： | 201910459264.6 | 申请日： | 2019-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN110299274A | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 韩晓东;李志鹏;毛圣成;张剑飞;马东锋;翟亚迪;李雪峤;张晴;栗晓辰;马腾云;张泽 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;G01N23/02;G01N23/20025;G01N23/2005 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 苗青盛;周琦 |
| 地址： | 100022 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及基于透射电镜的纳米材料原位表征技术领域，提供了一种多悬臂热双金属驱动器及其制备方法，多悬臂热双金属驱动器包括本体，本体包括主动区和设置在所述主动区两侧的被动区；主动区开设第一开口，每个被动区开设第二开口，第一开口与被动区之间的连接部设为第一搭载梁，第二开口与主动区之间的连接部设为第二搭载梁；第一开口与所述第二开口通过连接通道相连通；每个第二搭载梁与第二开口上相对第二搭载梁的侧壁之间各自构成一个压缩驱动位置；本发明结构简单、制备方便，便于批量化生产，实现了在不同温度下进行TEM原位力学实验，还可根据需要灵活设计驱动器结构，满足不同的驱动需求。 | ||
| 搜索关键词： | 开口 主动区 驱动器 热双金属 被动区 悬臂 制备 设计驱动器 力学实验 连接通道 纳米材料 驱动位置 透射电镜 原位表征 批量化 侧壁 驱动 压缩 灵活 生产 | ||
【主权项】：
1.一种多悬臂热双金属驱动器，其特征在于，包括本体；所述本体包括主动区和设置在所述主动区两侧的两个被动区，所述主动区所采用的材料的热膨胀系数大于所述被动区所采用的材料的热膨胀系数；所述主动区开设第一开口，每个所述被动区均开设第二开口，所述第一开口与所述被动区之间的连接部设为第一搭载梁，所述第二开口与所述主动区之间的连接部设为第二搭载梁，且所述第一搭载梁与所述第二搭载梁并行排列；所述第一开口的相对两侧分别通过连接通道与相应侧的所述第二开口连通；所述第一搭载梁与所述第二搭载梁均由所述连接通道分隔成两部分；每个所述第二搭载梁与所述第二开口上相对第二搭载梁的侧壁之间各自构成一个压缩驱动位置。
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