[发明专利]一种窄线宽准分子激光系统和线宽压缩并整形的方法在审
| 申请号： | 201910449730.2 | 申请日： | 2019-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN110137785A | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 袁志军;周军;杨军红;江锐;张海波;沙鹏飞;韩晓泉;陈刚 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司;南京中科神光科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/00 | 分类号： | H01S3/00;H01S3/10;G02B27/09 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 100000 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及准分子激光器技术领域，提供了一种窄线宽准分子激光系统和用于该准分子激光系统的线宽压缩并整形的方法。该系统包括输出耦合镜和激光腔、柔性变焦模块、扩束模块、以及与该扩束模块组成littrow结构的光栅，该方法为先根据准分子激光的波前信息实时调节施加于柔性变焦模块上的驱动值；然后根据该驱动值对准分子激光进行整形和线宽压缩；当准分子激光的波前畸变补偿完成时，停止调节操作并固定驱动值，以得到窄线宽准分子激光。该系统结构简单、控制有效，输出激光的线宽值连续可调；提供的方法操作简单、能够精确补偿高重频激光作用光栅后引起的波前畸变并精确控制线宽值。 | ||
| 搜索关键词： | 准分子激光 线宽 窄线宽 整形 光栅 波前畸变 变焦 扩束 压缩 准分子激光器 输出耦合镜 波前信息 分子激光 固定驱动 激光作用 精确补偿 连续可调 模块组成 实时调节 输出激光 系统结构 驱动 激光腔 控制线 完成时 对准 施加 | ||
【主权项】：
1.一种窄线宽准分子激光系统，包括输出耦合镜和激光腔，其特征在于，还包括：柔性变焦模块，准分子激光束在激光腔内受到激励，经所述柔性变焦模块整形后形成非平行射出的第一光束；扩束模块，对所述第一光束进行扩束，以形成第二光束；与所述扩束模块组成littrow结构的光栅，对所述第二光束进行衍射，以形成与所述第二光束反向重合的衍射光束；其中，所述衍射光束依次经过扩束模块、柔性变焦模块、激光腔和输出耦合镜后输出。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京科益虹源光电技术有限公司;南京中科神光科技有限公司，未经北京科益虹源光电技术有限公司;南京中科神光科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910449730.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
