[发明专利]一种有效减小反射镜光学加工边缘效应的快速抛光方法

摘要

本发明公开了一种有效减小反射镜光学加工边缘效应的快速抛光方法，属于反射光学加工技术领域，用于解决现有技术中减小/消除边缘效应方法，误差大、成本高的技术问题，本发明具体包括以下步骤，首先，对反射镜镜体的中孔内进行填充材料，计算出反射镜镜体的中孔边缘处的曲率半径值，根据曲率半径对垫块和填充材料的表面曲率进行精加工，然后，通过粘性材料将填充材料固化在反射镜镜体的中孔内，其次，对反射镜镜体进行抛光加工；然后，对反射镜镜体的中孔内填充材料通过去除试剂去除，本发明的快速抛光方法能够有效地减小反射镜镜体的边缘效应，具有降低加工成本，提高生产效率的有益效果。

主权项

1.一种有效减小反射镜光学加工边缘效应的快速抛光方法，其特征在于，具体步骤包括：步骤A：对反射镜镜体(1)的中孔内进行填充材料(2)；步骤A1：计算出反射镜镜体(1)的中孔边缘处的曲率半径值；根据非球面方程：其中c＝1/R₀为顶点曲率，R₀为顶点曲率半径，K为二次曲面常数，ρ为非球面的径向坐标，A_2n+2为高次项系数，M为非球面的总阶数，根据反射镜的内孔设计值，计算出内孔边缘处曲率半径；步骤A2：根据步骤A1计算出的曲率半径，对垫块(3)和填充材料(2)的表面曲率进行精加工，加工后，垫块(3)和填充材料(2)的表面曲率半径与反射镜镜体(1)的中孔边缘处表面曲率半径相比误差范围为±1mm；步骤A3：填充材料(2)外径涂一层粘性材料，并将填充材料(2)放置在反射镜镜体(1)的中孔内，等待粘性材料固化；其中，填充材料(2)外径与反射镜镜体(1)的中孔内径间隙不大于0.1mm，填充材料(2)与反射镜镜体(1)表面的高度差不大于20μm；步骤A4：根据步骤A3，粘性材料固化后，反射镜镜体(1)与填充材料(2)呈一体结构地刚性连接状态，并且连接位置的耐受剪切力不大于100N；步骤B：对反射镜镜体(1)进行抛光加工；步骤B1：抛光工具(5)围绕自转轴(6)旋转地向下移动与反射镜镜体(1)表面接触；步骤B2：执行步骤B1后，抛光工具(5)继续下移、并以抛光工具(5)与反射镜镜体(1)表面接触中心点(7)为对称中心获取去除函数宽度(8)是与抛光工具(5)下降距离相关的函数，抛光工具(5)与反射镜镜体(1)接触面形成抛光接触面(9)，抛光接触面(9)与反射镜镜体(1)矢高方向垂直；其中，抛光工具(5)在对反射镜镜体(1)外边缘加工时，抛光工具(5)的抛光接触面(9)不应小于去除函数的1/2；步骤B3：填充材料(2)通过具有缝隙填充性的去除试剂去除。