[发明专利]一种通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机

摘要

本发明公开了一种通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机，包括真空镀膜室、靶体、靶腔、伸缩机构、靶门及平移启闭机构，通过循环流经靶体的液体实现对靶体的降温，靶腔设置在真空镀膜室的底部或顶部或侧部，通过腔口直接与真空镀膜室连通；伸缩机构安装在靶腔的壁板上；靶体安装在伸缩机构上，并位于靶腔内；由伸缩机构带动靶体向腔口方向移动，或收缩回靶腔内；靶门通过平移启闭机构安装在腔口处；通过驱动平移启闭机构往腔口方向作平移运动，可使得靶门自动密封盖在腔口处；通过驱动平移启闭机构往远离腔口方向作平移运动，可使得靶门自动脱离腔口并由平移启闭机构带动向腔口侧边平移开。本发明能保证使用过程中靶材始终不会与水汽接触。

主权项

1.一种通过平移式靶门隔离靶体的镀膜机，包括真空镀膜室和靶体，通过循环流经所述靶体的液体实现对所述靶体的降温，其特征在于：还包括：靶腔，设置在所述真空镀膜室的底部或顶部或侧部，通过腔口直接与所述真空镀膜室连通；伸缩机构，安装在所述靶腔的壁板上；所述靶体安装在所述伸缩机构上，并位于所述靶腔内；由所述伸缩机构带动所述靶体向所述腔口方向移动，或收缩回所述靶腔内；靶门及平移启闭机构，所述靶门通过所述平移启闭机构安装在所述腔口处；通过驱动所述平移启闭机构往所述腔口方向作平移运动，可使得所述靶门自动密封盖在所述腔口处；通过驱动所述平移启闭机构往远离所述腔口方向作平移运动，可使得所述靶门自动脱离所述腔口并由所述平移启闭机构带动向所述腔口侧边平移开。