[发明专利]干燥装置在审
| 申请号： | 201910445497.0 | 申请日： | 2019-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN110207470A | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 沈海洋 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/06 | 分类号： | F26B9/06;F26B5/04;F26B23/00;F26B25/00 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请提供一种干燥装置，其包括腔体、托盘单元、遮挡体和出气口；托盘单元设置在所述腔体内，托盘单元用于放置柔性基板；遮挡体设置在所述托盘单元和所述腔体之间；出气口开设在所述腔体上，用于排出所述柔性基板在烘烤中产生的挥发物，所述出气口设置在所述托盘单元背向所述柔性基板的一侧；所述遮挡体围设在所述托盘单元的外周并与所述腔体背向所述柔性基板的一侧界定形成一遮挡空间，所述遮挡空间连通所述出气口。本申请的干燥装置通过遮挡体的设置，避免了挥发物沉积在干燥装置的腔体上。 | ||
| 搜索关键词： | 托盘单元 腔体 干燥装置 柔性基板 出气口 遮挡体 挥发物 遮挡 空间连通 烘烤 界定 排出 外周 沉积 申请 体内 | ||
【主权项】：
1.一种干燥装置，其特征在于，包括：腔体；托盘单元，设置在所述腔体内，所述托盘单元用于放置柔性基板；遮挡体，设置在所述托盘单元和所述腔体之间；出气口，开设在所述腔体上，用于排出所述柔性基板在烘烤中产生的挥发物，所述出气口设置在所述托盘单元背向所述柔性基板的一侧；其中，所述遮挡体围设在所述托盘单元的外周并与所述腔体背向所述柔性基板的一侧界定形成一遮挡空间，所述遮挡空间连通所述出气口。
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