[发明专利]热电堆型高温热流传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201910440473.6 | 申请日： | 2019-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN111982323B | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 李铁;王翊;周宏;田伟;王跃林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01K7/02 | 分类号： | G01K7/02;G01K7/22 |
| 代理公司： | 上海泰博知识产权代理有限公司 31451 | 代理人： | 钱文斌 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种热电堆型高温热流传感器及其制备方法，热电堆型高温热流传感器包括：衬底，衬底内形成有隔热腔体；复合介质膜，位于衬底的上表面且覆盖隔热腔体的上表面；电阻块，位于复合介质膜的上表面，且位于衬底的正上方及隔热腔体的正上方；绝缘介质层，覆盖电阻块的表面；金属图层，包括电极及引线，电极位于绝缘介质层的上表面，引线位于绝缘介质层内，电极经由引线与所述电阻块电连接。本发明的热电堆型高温热流传感器的结构简单，热偶对数降低至1至2对，可以承受高温热流冲击，实现高温恶劣环境中热流密度的快速、准确测量，在高温环境中工作稳定，可靠性强。 | ||
| 搜索关键词： | 热电 高温 热流 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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