[发明专利]一种微结构气体探测器的支撑结构及其制备方法有效
| 申请号： | 201910436979.X | 申请日： | 2019-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN110208460B | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 丰建鑫;张志永;金梓安;周意;刘建北;邵明 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00;B23K26/38;B23K26/402 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周天宇 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种微结构气体探测器支撑结构及其制备方法，方法包括：S1，设置激光切割参数，参数包括切割间距、尺寸及图形；S2，根据参数对黏附在离型纸(2)上的热熔胶膜(1)进行激光切割，切割至完全切透热熔胶膜(1)但不切到离型纸(2)，形成带有边框(6)的支撑垫片(5)阵列；S3，将带有边框(6)的支撑垫片(5)阵列的热熔胶膜(1)一面与微结构气体探测器的读出阳极板(3)紧贴，使用平板热压从离型纸(2)一面施加压力热压，形成支撑结构；S4，将微结构气体探测器的不锈钢丝网(7)置于支撑结构上并热压，使得读出阳极板(3)与不锈钢丝网(7)实接。该方法加工精度及效率高，以热熔胶膜制备的支撑结构，增加了探测器稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微结构 气体探测器 支撑 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微结构气体探测器支撑结构的制备方法，其特征在于，包括：S1，设置激光切割参数，所述参数包括切割间距、切割尺寸及切割图形；S2，根据所述参数对黏附在离型纸(2)上的热熔胶膜(1)进行激光切割，切割至完全切透所述热熔胶膜(1)但不切到所述离型纸(2)，形成带有边框(6)的支撑垫片(5)阵列；S3，将所述带有边框(6)的支撑垫片(5)阵列的热熔胶膜(1)一面与所述微结构气体探测器的读出阳极板(3)紧贴，使用平板热压从离型纸一面施加压力热压，形成所述支撑结构；S4，将所述微结构气体探测器的不锈钢丝网(7)置于所述支撑结构上并热压，使得所述读出阳极板(3)与所述不锈钢丝网(7)实接。
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