[发明专利]一种高分辨率的近场波前测量装置和测量方法有效
| 申请号： | 201910412320.0 | 申请日： | 2019-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN110160663B | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 张雪洁;程北;沈卫星;刘诚;朱健强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01J9/00 | 分类号： | G01J9/00 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种高分辨率的近场波前测量装置和测量方法，装置包括由衍射物体和CCD探测器构成的探测器组件、供探测器组件放置的二维电动平移台以及计算机，所述的衍射物体和CCD探测器通过套筒固定连接，且衍射物体与CCD探测器的靶面平行；所述的计算机分别与所述的CCD探测器及二维电动平移台相连，进行仪器控制及数据存储。本发明在不增加扫描记录过程的情况下提高了测量分辨率，避免了CCD像素数对测量分辨率的限制，降低了对探测器的要求，而且空间范围受限的衍射物体还可以增加迭代计算的收敛速度和精度。本发明装置结构简单，对环境稳定性要求低，易于实现，待测近场波前的中高频信息能够得到有效重建。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高分辨率 近场 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种高分辨率的近场波前测量装置，其特征在于，包括由衍射物体(1)和CCD探测器(2)构成的探测器组件(3)、供探测器组件(3)放置的二维电动平移台(4)以及计算机(5)，所述的衍射物体(1)和CCD探测器(2)通过套筒固定连接，且衍射物体(1)与CCD探测器(2)的靶面平行；所述的计算机(5)分别与所述的CCD探测器(2)及二维电动平移台(4)相连，进行仪器控制及数据存储。
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